Анотація до роботи:

Терпій Д.М. “Структура та фізичні властивості боридних плівок, отриманих ВЧ – магнетронним розпиленням” – Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.07 –фізика твердого тіла. Донецький національний університет. Донецьк, 2004.

В дисертації викладено теоретичні та експериментальні дослідження впливу змін характеристик атомарних, іонно-плазмових потоків та умов конденсації на фазовий склад, структурну довершеність та властивості плівок, одержаних шляхом іонно-плазмового розпилення мішеней ZrB₂ та VB₂ за допомогою ВЧ МРС.

Показано, що за умов осадження плівок високотемпературних сполук, головним чинником, що впливає на склад та структуру плівок є умови переносу розпилених атомів мішені до поверхні конденсації. У зв’язку з цим, запропоновано механізм, що дозволяє провести моделювання впливу умов транспортування речовини крізь розрядний проміжок на зміни характеристик потоків атомів, що конденсуються на підкладці. Показано також, що за допомогою такого моделювання та розрахунків пересичень (за запропонованою у роботі схемою) можливо здійснити підбір параметрів розпилення та осадження, які найбільш сприятимуть осадженню плівок з бажаними властивостями.

В результаті виділено три основних режими роботи систем іонно-плазмового розпилення.

Експериментально та теоретично досліджено вплив швидкості розпилення мішені на процеси формування плівок.

Наводяться практичні рекомендації щодо одержання епітаксійних та наноструктурних плівок досліджуваних сполук.

Публікації автора:

Статті

1. Высокочастотная магнетронная распылительная система на базе установки УВН-75Р-3 / Гончаров А.А., Зиновьев Н.И., Мироненко Е.В., Петухов В.В., Терпий Д.Н. // Вопросы Атомной Науки и Техники. -1998. №5(6)-6(7). -С.57-58.

2. Petuchov V.V., Therpy D.N. Reactive sputtering by unbalanced magnetron // Вопросы Атомной Науки и Техники. –1999. Вып. 2(10) -С.3- 5.

3. Влияние режима ВЧ-магнетронного распыления мишени VB₂ на состав и структуру напыляемых пленок / Игнатенко П.И., Терпий Д.Н., Петухов В.В., Гончаров А.А. // Неорганические материалы. -2001. -Т.37,№9 -С.1201-1204.

4. Игнатенко П.И., Терпий Д.Н., Гончаров А.А. Фазовый состав пленок, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени ZrB₂ // Неорганические материалы -2003. -Т.39,№5 -С.560-565.

5. Disperse of increasing films chemical compounds / Ignatenco P.I., Therpy D.N., Goncharov A.A., Muza M.A., Vasilenco N.A.. // Фізика і хімія твердого тіла, -2001. –Т2, №2, -С.217-222.

6. Морфологія і фізико-механічні властивості плівок боридів ванадію, отриманих методом ВЧ-магнетронного розпилення / Ігнатенко П.І., Гончаров О.А., Терпій Д.М., Петухов В.В. // Фізика і хімія твердого тіла. –2003. –Т.4, №2, -С.378-381.

Патенти

1. Ігнатенко П.І., Терпій Д.М., Гончаров О.А. Спосіб одержання плівки. Авт. св., заявка № 2002076246, дата подання 26.07.2002.

2. Ігнатенко П.І., Терпій Д.М., Гончаров О.А. Спосіб одержання оксидної плівки V₂O₅. Деклараційний патент на винахід. Заявка № 2003065767, дата подання 23.06.2003.

Матеріали і тези конференцій

1. Игнатенко П.И., Петухов В.В., Терпий Д.Н. Исследование структуры и свойств пленочных диборидов титана, ванадия и циркония // UzPEC-2. 2^nd Uzbekistan Physical Electronics Conf. Book of abstracts. Tashkent. November 3-5, -1999. -С.86.

2. Состав и структура пленок, полученных магнетронным распылением мишени VB₂ / Игнатенко П.И., Петухов В.В., Гончаров А.А., Терпий Д.Н. // Тезисы докладов IX научной конф. по росту кристаллов Москва. ИК РАН -2000. -С.343.

3. Игнатенко П.И., Василенко Н.А., Терпий Д.Н. О дисперсности пленочных продуктов твердофазных реакций // VIII Мiжнародна Конференція з фiзики i технологiї тонких плiвок. Iвано-Франкiвськ, -2001. –С.172 – 173.

4. Ignatenco P.I., Goncharov A.A., Therpy D.N. Production of zirconium diboride films using ion-plasma sputtering of sintered targets // IV International Conference on Modification of Properties of Surface Layers of Non-Semiconducting Materials Using Particle Beams. August 27-30 2001, Ukraine, Feodosiya. -Р.34.

5. Epitacsial growth of films of chemical compounds / Ignatenco P.I., Goncharov A.A., Therpy D.N., Vasilenco N.A. // Proc. of Fourth Intern. Conf. “Single Cristal Growth and Heat & Mass Transfer” Obninsk-2001. V.2, P.459-462.

6. Терпий Д.Н. Влияние условий распыления мишени ZrB₂ на рост и состав осажденных пленок // Proc. of 5^th International Conference “Vacuum Technologies and Equipment”. April 22-27, 2002, Kharkov, Ukraine. –P.121-123.

7. Игнатенко П.И., Терпий Д.Н. Электронномикродифракционные исследования пленок, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени ZrB₂ // XIX Российская конференция по электронной микроскопии. 28-31 мая 2002г. Черноголовка. –С.35.

8. Игнатенко П.И., Терпий Д.Н. Микромеханические и электрические свойства пленок, полученных ВЧ-магнетронным распылением мишени ZrB₂ // Proceeding of 15^th International Symposium ”Thin Films in Optics and Electronics”. April 23-27, 2003, Kharkov, Ukraine. -С.288-292.

9. Игнатенко П.И., Терпий Д.Н. Влияние параметров ВЧ-магнетронного распыления на фазовый состав и структуру боридных пленок на (100) NaCl // Мат. XIII российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел. Июнь 2003. Черноголовка. –С.134.

10. Игнатенко П.И., Терпий Д.Н., Гончаров А.А. Влияние режима ВЧ-магнетронного распыления на формирование многофазных боридных пленок // Матеріали IX міжнародної конференції “Фізика і технологія тонких плівок”. 19 – 24 травня 2003 р. Івано-Франківськ. Україна. -Т. 1. –С. 46.