Курбанов Музаффар Кадамбаевич. Распыление кристаллов LiF(100), Si(111) и 3C-SiC при бомбардировке моноатомными (Ar+) и полиатомными (SF5+) ионами.- Дисертація канд. физ.-мат. наук: 01.04.04, Акад. наук Респ. Узбекистан, Ин-т электроники им. У. А. Арифова. - Ташкент, 2012.- 190 с.
|