Анотація до роботи:

Шуаібов О.К. Оптична діагностика активних середовищ електророзрядних джерел випромінювання на атомах інертних газів та їх галогенідах . -Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня доктора фізико-матемтичних наук за спеціальністю 01.04.04 “фізична електроніка”. - Інститут фізики НАН України, Київ, 2003.

Дисертація присвячена встановленню основних характеристик та процесів в спонтанних джерелах випромінювання на атомах та галогенідах інертних газів з накачуванням поперечним об’ємним розрядом, тліючими розрядами низького тиску та різними типами коронних розрядів. В роботі розвинуто напрямок оптичної діагностики нерівноважної електророзрядної плазми інертних газів та їх сумішей з галогеновмісними молекулами, який грунтується на нестаціонарній спектроскопії випромінювання і поглинання. Встановлено характеристики і механізм запалювання поперечного об’ємного розряду з допробійним іонізаційним розмноженням електронів в сумішах інертних газів і галогеновмісних молекул. Розроблено та оптимізовано ряд УФ-ВУФ спонтанних джерел випромінювання на В-Х переходах моногалогенідів інертних газів та продуктах дисоціації молекул води, які випромінюють в діапазоні 175-353 нм. Розширені плазмохімічні застосування поперечного розряду в хлорі, фреонах та силанвмісних сумішах. Виявлено умови існування та характеристики багатоелектродних коронних розрядів в інертних газах та їх сумішах з молекулами N₂, СО, СО₂, Н₂, SF₆, F₂, CCl₄ та НСl, що використовуються в електророзрядних джерелах випромінювання.

1. У дисертаційній роботі проведено значний цикл досліджень емісійних та поглинальних характеристик електричного розряду, а також основних механізмів заселення збуджених частинок в низькотемпературній плазмі на сумішах інертних і галогеновмісних газів та парів води, яка є робочим середовищем нового класу джерел потужного ультрафіолетового випромінювання на електронно-коливальних переходах моногалогенідів важких інертних газів, димерів галогенів та продуктів розпаду молекул води.

2. Показано, що в сумішах Не(Nе)/SF₆,F₂(Н₂,N₂), які збуджуються поперечним розрядом, в вузькому діапазоні зарядних напруг існує просторово-однорідна стадія поперечного об’ємного розряду з допробійним іонізаційним розмноженням, перспективна для використання в Пеннінгівських джерелах випромінювання на атомах Не, Nе та в якості об’ємного передіонізатора хімічних лазерів. Фізичний механізм запалювання поперечного об’ємного розряду з ДІР пов’язаний з провідністю в вигляді потоку від’ємних іонів, динамічним профілюванням напруженості електричного поля та формуванням високошвидкісної хвилі іонізації. Поперечний розряд в неоні є джерелом неперервного випромінювання, яскравість якого зростає при зменшенні l з 400 до 190 нм і збільшенні енергетичного внеску в плазму та тиску неону; умови збудження і характеристики випромінювання неонової плазми дозволяють ототожнити його з переходами між збудженими станами молекулярних іонів Nе⁺₂.

3. Дослідження поперечного розряду в середовищі фреонів-12(14) і силану виявили ряд нових плазмохімічних застосувань, які пов’язані з деструкцією даних молекул в плазмі: при Р(CF₂Cl₂)=0,5-3,0 кПа запалюється однорідний розряд, в якому розпад молекул CF₂Cl₂ відбувається при питомих витратах енергії 10-20 еВ/мол.; досліджено якісний склад і динаміку зміни в часі фреонової плазми. Показано, що наносекундний ПОР в сумішах Не(Nе,Н₂)/Аr/SіН₄ є джерелом випромінювання на l = 288,2 нм SіІ, а в результаті розпаду силану одержуються пористі покриття значної площі (S 3060 см² ) з кремнійвмісних сполук; розпад молекул силану прискорюється з ростом тиску суміші і збільшенням внеску енергії.

4. Встановлено, що плазма поперечного розряду є селективним джерелом випромінювання на смузі 195-200 нм Сl₂**. Розчинення хлору гелієм приводить до концентрації всього УФ-ВУФ випромінювання в смузі 258 нм Сl₂(D’-А’); швидкість гасіння ВУФ випромінювання Сl₂** молекулами хлору в 30-50 разів вища ніж атомами гелію; УФ смуги випромінювання хлору можуть бути використані в системі контролю за густиною молекулярних радикалів в плазмохімічному реакторі, а спектральні лінії 725, 754 та 821(2) нм можуть використовуватися як діагностичні для імпульсної плазми на атомах хлору.

5. Розроблено та досліджено ряд імпульсно-періодичних багатохвильових ексимерно-галогенних джерел випромінювання, які накачувалися поперечним розрядом: l=353 нм ХеF/308 нм ХеСl/249 нм КrF/222 нм КrСl з оптимальним складом суміші Не/Кr/Хе/SF₆/НСl; плазма на. сумішах Не/Кr/Хе/CF₂Cl₂; Аr/Кr/F₂/CF₂Cl₂ дає можливість одержувати системи смуг КrХ* і ХеХ* і випромінювання в УФ-ВУФ областях на l = 249 нм КrF/222 нм/ КrСl/193 нм АrF/175 нм АrСl, а молекули CF₂Cl₂ служать спільним носієм хлору і фтору; багатохвильовий режим на системі смуг 258 нм Сl₂/249 нм КrF/222 нм КrСl одержано з співвідношенням яскравостей 1/1/9; оптимізовано емісійні властивості АrСl- джерела; виявлено основні реакції, які відповідають за утворення ексимерних молекул в багатокомпонентній плазмі поперечного розряду.

6. Показано, що найбільш ефективним хлорносієм в потужних джерелах спонтанного випромінювання на монохлоридах Ar, Kr та Хе є молекули хлору; газові суміші Ar/Cl₂, Ar/Kr(Xe)/Cl₂, Ar/Kr/Xe/Cl₂ i Ar/Kr/Cl₂(HCl)/H₂ є робочим середовищем багатохвильових джерел імпульсного випромінювання на системі смуг 158-160, 175, 200, 222, 236, 258 і 308 нм; проведена оптимізація газових сумішей за тиском та складом; оптимальний склад газових сумішей багатохвилевих джерел випромінювання визначається реакціями заміщення атомів при утворенні ексимерних молекул та процесами передачі енергії між Ar, Kr, Xe і Н₂.

7. Тліючий розряд на сумішах Не, Ar, Kr Xe з молекулами хлору є широкосмуговим ексимерно-галогенним джерелом випромінювання в діапазоні 160-310 нм, що зумовлено незавершеністю процесів коливальної релаксації при низьких тисках і значним стовщенням смуг випромінювання ексимерних молекул; величина середньої потужності випромінювання була в межах 1 - 8 Вт при коефіцієнтах корисної дії 25%; найвищі ККД лампи досягалися в піднормальному режимі тліючого розряду; виконана оптимізація вихідних характеристик лампи за тиском та складом робочих сумішей; встановлено основні фізичні процеси, які визначають ефективність утворення ексимерних молекул в тліючому розряду на багатокомпонентних газових сумішах.

8. Встановлено, що на основі суміші Р(Не)/Р(Н₂О) можлива розробка екологічно чистого джерела випромінювання з накачуванням тліючим розрядом, яке випромінює в діапазоні 130-190 нм; збільшення парціального тиску парів води в розрядній плазмі приводить до зменшення яскравості всіх характеристичних смуг плазми на основі парів води в 30-100 разів, а в УФ-ВУФ спектрах випромінювання починає переважати широка смуга з l_макс. = 309,6 нм, яка може бути зумовлена спонтанним розпадом кластерних молекул типу (ОН)*_n(H₂O)_m (де: n2; m1); проведена оптимізація робочих середовищ та режиму накачування лампи; встановлено основні процеси заселення збуджених часток в плазмі малої щільності на основі парів води.

9. Дослідження оптичних характеристик контрагованого повздовжнього розряду в CF₂Cl₂ і на суміші Не/CF₂Cl₂ показало, що його плазма є іон-іонною і випромінює в діапазоні 130-280 нм смуги 258 нм Cl₂(D’-A’), 200 нм Cl₂^** та спектральні лінії іонів Cl^+*; проведена оптимізація робочих середовищ за тиском та складом; збільшення струму в розряді приводило до збільшення яскравості всього УФ-ВУФ випромінювання; найбільший ресурс роботи було виявлено для смуги 200 нм Cl₂^**; повна потужність УФ-ВУФ випромінювання досягала 1.0-1.5 Вт при ККД3%.

10. Встановлено, що плазма негативного катодного свічення на сумішах гелію і криптону з молекулами хлору є потужним та ефективним джерелом стаціонарного випромінювання на смугах молекул хлору і хлориду криптону в діапазоні спектру 170-260 нм; проведено оптимізацію робочих середовищ лампи за тиском та складом, а також оптимізовано режим накачування; джерело випромінювало середню потужність W10-12 Вт з ККД 10%.

11. Дослідженнями характеристик короткого тліючого розряду на сумішах Ar(Kr, Xe)/Cl₂ встановлено, що за рахунок перерозподілу напруженості електричного поля по довжині міжелектродного проміжку на сумішах Ar і Kr з молекулами Cl₂ об’ємний розряд існував в імпульсно-періодичному режимі, а на суміші Xe/Cl₂ значною є і постійна складова струму та випромінювання плазми; електророзрядна плазма на основі сумішей Ar(Kr)/Cl₂ є джерелом імпульсно-періодичного випромінювання, яке перекривало спектральний діапазон 170-270 нм і формувалося на основі потовщених смуг молекул ArCl(B-X), KrCl(D,B-X), Cl₂(D’-A’) і Cl₂**, а плазма на основі робочого середовища Xe/Cl₂ є джерелом УФ-випромінювання в діапазоні 200-340 нм; встановлені найбільш ефективні робочі середовища та режими накачування лампи;

12. Показано, що в плазмі поперечного об’ємного розряду на Не і суміші Не/Кr відбувається ефективне утворення метастабільних молекул Не₂(2Р³П_g) і збуджених іонів Кr⁺(⁴Р_5/2), а в плазмі на сумішах Не(Nе)/Кr/НСl - атомів Кr(5р); на основі отриманих результатів, обгрунтовано багатоступінчатий механізм заселення збуджених станів іонів Кr⁺ та Kr²⁺ в плазмі на суміші Р(Не)/Р(Кr); в плазмі поперечного об’ємного розряду на суміші Не/Кr/Хе/НСl отримано одночасне поглинання з Кr(5s) і Хе(6s), розглянуто процеси взаємодії атомів Кr з Хе та проведено числове моделювання кінетики процесів в Kr і Xe-вмісній плазмі.

13. Встановлено, що при збудженні сумішей Не/Кr(Хе)/НСl(Н₂О) (P=100-350 кПа) в додатному багатоелектродному коронному розряді з системою електродів "голки-сітка", запалюється квазістаціонарна стрімерна корона в значних об’ємах (V 10 см³ ); дія імпульсів лазерного випромінювання на l = 337,1 нм N₂ з енергією 1 мДж на стрімерну плазму затримує розвиток хемііонізаційної нестійкості плазми при зростанні напруги на голках; стрімерна плазма є джерелом випромінювання на l = 222 нм і 308 нм та 306 нм ОН*; проведено оптимізацію вихідних характеристк стрімерної лампи та встановлено основні процеси, які ведуть до утворення збуджених молекул та атомів в досліджуваній плазмі.

14. Дослідження негативного коронного розряду в сумішах Не/Nе(Аr, Кr, Н₂) показало, що при високих тисках (за рахунок нелінійності коронного розряду в інертних газах) реалізується стаціонарний розряд, який займає більшу частину розрядної області; в плазмі на сумішах Не/Nе(Н₂) заселення Nе(3р,3р’) відбувається в результаті дисоціативної рекомбінації іонів Nе₂⁺; в плазмі на сумішах Не/R, Не/R₁/R₂ спостерігалося потовщення і розщеплення на окремі компоненти спектральних ліній випромінювання важких інертних газів на ns-nр переходах; збільшення тиску Не (до 350 кПа) дає можливість проводити очистку nр станів атомів важких інертних газів, тому можна пропонувати дану плазму як активне середовище інфрачервоних лазерів на R(р-d). Вперше виявлено умови утворення та досліджено випромінювання молекул гідриду гелію в електророзрядній плазмі високої щільності.

15. Систематичні дослідження багатоелектродного коронного розряду на сумішах інертних газів з домішками молекул НСl, SF₆ та CCl₄ показали, що він існує в формі окремих точкових генераційних зон і темного зовнішнього простору; встановлено оптимальні умови роботи електричної системи прокачування. В багатоелектродному коронному розряді на сумішах Не/(R)/F₂ внаслідок відлипання електронів від негативних іонів фтору сформована єдина суцільна генераційна зона великого об’єму, яка охоплює вістря всіх голок; в модулях електричного прокачування робочих середовищ F(3s-3р), F₂(D-А) - джерел випромінювання оптимальним є використання негативного коронного розряду, а в системах прокачувння ексимерних RF-джерел випромінювання - додатного коронного розряду; генераційна зона негативного коронного розряду використана в якості селективної ексимерної лампи високого тиску з самопрокачуванням на смугах l = 157 нм F₂(D-А), 193 нм АrF, 249 нм КrF, 353 нм ХеF, проведена оптимізація робочого середовища та режиму накачувавння лампи.

Список опублікованих автором статей за темою дисертації

1. Шуаибов А.К. Применение поперечного наносекундного разряда в режиме допробойного ионизационного размножения электронов для селективного возбуждения атомов неона //Письма в ЖТФ. -1998. -T.24, № 1. -C.85-90.

2. Shuaіbov А.К. Optіcal characterіstіcs of a unіpolar corona dіscharge іn workіng medіa of hіgh pressure lasers on Ne(3s-3p) and Ar(3p-4d) atoms //Czechoslovak Journal of Physіcs. -1998. -V.48, № 3. -P.365-370.

3. Шуаибов А.К. Характеристики отрицательного коронного разряда в рабочих средах лазеров на Хе(6р-5d) и эксимерных молекулах //Журнал прикладной спектроскопии. -1998. -Т.65, №2, -С.205-210.

4. Шуаибов А.К. Характеристики многоэлектродного коронного разряда в рабочих средах импульсно-периодических ХеСl и КrСl лазеров //Журнал технической физики. -1998. -Т.68, № 5. -С.48-52.

5. Шуаибов А.К. Об условиях работы модуля электрической прокачки импульсно-периодического лазера на атомах и молекулах фтора // Журнал технической физики. -1998. -Т.68, № 9. -С.84-87.

6. Шуаибов А.К. Многоволновый источник импульсного излучения галогенидов криптона и ксенона //Теплофизика высоких температур. -1998. -Т.36, № 3. -С.508-510.

7. Шуаибов А.К. Многоволновая эксимерная лампа на молекулах XeF/XeCl/KrF/KrCl //Журнал технической физики -1998. -Т.68, № 12. -С.64-67.

8. Шуаибов А.К. Исследование распада молекул фреона-12(14) в поперечном наносекундном разряде //Письма в ЖТФ. -1998. -Т.24, № 23. -С.30-34.

9. Шуаибов А.К. Исследование излучения плазмы поперечного разряда в смесях гелия и неона с SF₆ //Теплофизика высоких температур. -1998. -Т.36, № 6. -С.883-888.

10. Шуаибов А.К. Спектроскопическое исследование плазмы сильноточного диффузного разряда в смесях Не/Аr/CF₂Cl₂(CCl₄) //Журнал прикладной спектроскопии. -1999. -Т.66, №2. -С.241-246.

11. Shuaіbov A.K. The characterіstіcs of a negatіve corona dіscharge іn He/Xe/SF₆ mіxtures //Czechoslovak Journal of Physіcs. -1999. -V.49, № 2. -P.225-232.

12. Шуаибов А.К. Об условиях зажигания поперечного разряда с допробойным размножением электронов в рабочих средах газовых лазеров //Квантовая электроника. -1999. -Т.26, № 2. -С.128-131.

13. Шуаибов А.К. Импульсный плазмохимический реактор //Приборы и техника эксперимента. -1999. -№ 2. -С.142-144.

14. Шуаибов А.К. Диагностика плазмы импульсно-периодического излучателя на молекулах КrСl/КrF/Сl₂ //Теплофизика высоких температур. -1999. -Т.37, № 2.-С.188-193.

15. Шуаибов А.К. Биполярный коронний разряд атмосферного давления в смеси Не/Н₂ // Журнал технической физики -1999. -Т.69, вып. 7. -С.33-37.

16. Шуаибов А.К. Импульсный электроразрядный источник УФ-ВУФ–излучения .на моногалогенидах аргона и криптона //Теплофизика. высоких температур -1999. -Т.37, № 4. -С.676-678.

17. Шуаибов А.К. Об условиях контрагирования многоэлектродного коронного разряда на смесях Не/Ar,Kr,Xe // Письма в ЖТФ. -1999. -Т.25, вып. 17. -С.90-94.

18. Шуаібов О.К. До утворення ексимерних молекул НеН(А) в стаціонарній плазмі високого тиску на суміші Не/H₂ // Український фізичний журнал. -1999. -Т.44, № 6. -С.718-720.

19. .Шуаибов А.К. Стационарное возбуждение атомов неона в рабочей среде плазменного лазера на l = 585.3 нм // Физика плазмы. -1999. - Т.25, № 8. -С.711-715.

20. Шуаибов А.К. Оптические характеристики плазмы поперечного объемного разряда на смеси Nе/Аr/SiН₄ // Физика плазмы. -2000. -Т.26, № 2. -С.190-192.

21. Шуаибов А.К. Исследование характеристик плазмы эксимерного излучателя с l=308 nm ХеСl на смесях инертных газов с молекулами ССl₄ // Журнал технической физики. -2000. -Т.70, вып. 6. -С.128-131.

22. Шуаибов А.К. Условия получения и оптические свойства стримерной короны в рабочих средах электроразрядных ХеСl и КrСl - лазеров // Оптика и спектроскопия. -2000. -Т.88. № 5. -С.875-879.

23. .Шуаибов А.К. Импульсный многоволновый излучатель на системе полос l=175 nm АrСl(В-Х)/236 nm ХеСl(D-Х)/258 nm Сl₂^*/308 nm ХеСl(В-Х) //Письма в ЖТФ. -2000. -Т.26, вып.9. -С.1-6.

24. Шуаибов А.К. О влиянии водорода на характеристики электроразрядного многоволнового излучателя на смеси Кr, Аr, НСl и Н₂ // Теплофизика высоких температур. -2000. -Т.38, № 4. -С.674-676.

25. Шуаибов А.К.Оптические характеристики плазмы поперечного объемного разряда в Cl₂ и смеси Не/Cl₂ // Журнал технической физики. -2000. -Т.70, вып. 10. -С.117-119.

26. Шуаібов О.К. Хемілюмінісцентне випромінювання стаціонарної електророзрядної плазми низького тиску на суміші парів води з гелієм // Український фізичний журнал. -2001. -Т.46,

№ 10. -С.1047-1050.

27. Шуаібов О.К. Імпульсно-періодичний об’ємний розряд у сумішах атомів Аr, Kr i Xe з молекулами Cl₂ // Український фізичний журнал. -2002. -Т.47, № 10. -С. 934-939.

28. Неймет Ю.Ю., Шуаибов А.К., Шевера В.С., Кузьма В.Н. Малогабаритный электроразрядный лазер на хлоридах ксенона и криптона // Журнал прикладной спектроскопии. -1990. -Т.53,

№ 2. -С.337-339.

29. Неймет Ю.Ю., Шуаибов А.К., Шевера В.С. Активный элемент электроразрядного эксимерного лазера // Приборы и техника эксперимента. -1990. -№ 6. -С.203.

30. Шуаибов А.К., Неймет Ю.Ю., Ходанич А.И., Шевера В.С. Динамические спектры поглощения электроразрядной плазмы на смеси Nе(Не)/Кr/НСl // Оптика и спектроскопия.

-1993. -Т.75, № 4. -С.713-716.

31. Неймет Ю.Ю., Шуаибов А.К., Ходанич А.И., Шевера В.С. Лазерный диагностический комплекс // Приборы и техника эксперимента. -1994. -№ 5. -С.131-133.

32. Шуаибов А.К., Неймет Ю.Ю., Ходанич А.И., Шевера В.С. Поглощение поперечного наносекундного разряда в Не и смеси Не/Кr при атмосферных давлениях //Оптика и спектроскопия. -1995. -Т.79, № 3. -С.458-459.

33. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В. Исследование характеристик коронного разряда на смеси инертных газов с молекулами хлористого водорода // Физика плазмы. -1996. -Т.22, № 8. -С.739-743.

34. Шуаибов А.К., Миня А.И., Звенигородский В.В., Шевера В.С. Биполярный коронный разряд в рабочих средах N₂ и СО - лазеров // Письма в ЖТФ. -1996. -T.22, № 13. -C.74-78.

35. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В. Характеристики коронного разряда в рабочих средах импульсно-периодических XeCl-лазеров с l=308 нм // Квантовая электроника. -1997.

-T.24, № 1. -C.20-24.

36. Шуаибов А.К., Шевера И.В., Миня А.И. Стримерная лампа на хлоридах инертных газов // Приборы и техника эксперимента. -1997.-№ 2. -C.151-152.

37. Шуаибов А.К., Шевера И.В. Исследование плазмы коронного разряда в смесях инертных газов с примесями паров воды и воздуха // Журнал прикладной спектроскопии. -1997. -T.64, № 2. -C.242-248.

38. Шуаибов А.К., Миня А.И. Спектры излучения плазмы рабочих сред электроразрядных лазеров на хлоридах криптона и ксенона // Журнал прикладной спектроскопии. -1997. -T.64, № 4.-C.524-527.

39. Шуаибов А.К., Шевера И.В., Дащенко А.И. Характеристики униполярного коронного разряда в рабочих средах лазеров высокого давления на атомах Ar, Kr и Xe //Квантовая электроника.

-1997. -T.24, № 6. -C.519-522.

40. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Миня А.И., Дащенко А.И. Характеристики отрицательного коронного разряда в рабочих средах азотных лазеров атмосферного давления //Журнал прикладной спектроскопии. -1997.-T.64, № 6. -C.837-840.

41. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В., Миня А.И. Оптические характеристики плотной электроразрядной плазмы инертных газов в сильнонеоднородных электрических полях // Физика плазмы. -1997. -T.23, № 10. -C.960-965.

42. Шуаибов А.К., Шевера И.В., Миня А.И., Дащенко А.И., Скубенич В.В. Система элект-рической прокачки рабочих сред молекулярных газовых лазеров высокого давления //Приборы и техника эксперимента. -1997. -№ 5. -C.98-103.

43. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Миня А.И., Дащенко А.И. Эксимерная лампа с самопрокачкой рабочей среды // Приборы и техника эксперимента. -1997. -№ 6. -C.128-130.

44. Шуаибов А.К., Шевера И.В. Электрические и оптические характеристики плазмы инертных газов в пространственно-неоднородных системах электродов //Журнал технической физики.

-1997. -T.67, № 11. -C.15-18.

45. Шуаибов А. К., Шимон Л.Л., Миня А.И., Дащенко А.И. Исследование характеристик модуля электрической прокачки импульсно-периодического лазера на молекулах ArF*, KrF* и ХеF*// Письма в ЖТФ. -1997. -Т.23, № 14. -С.49-55.

46. Шуаібов О.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.Й., Миня А.Й. Характеристики поперечного розряду з допробійним розмноженням електронів в сумішах He(Ne)/SF₆ // Український фізичний журнал. -1998. -T.43, № 1. -C.27-32.

47. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Миня А.И. Исследование излучения коронного разряда атмосферного давления в смесях Не/Nе и Не/Nе/Кr // Теплофизика высоких температур. -1998. -Т.36, № 1. -С.13-20.

48. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В. Многоволновая электроразрядная лампа на галогенидах инертных газов // Приборы и техника эксперимента. -1998.-№ 3. -С.142-144.

49. Шуаибов А.К., Миня А.Й., Шевера В.С., Скубенич В.В. Электрические и оптические характеристики биполярного коронного разряда в смесях Не/N₂/СО₂(Хе) при атмосферных давлениях // Теплофизика высоких температур. -1998. -Т.36, № 4. -С.552-556.

50. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Миня А.И. Исследование деструкции молекул силана в импульсном объемном разряде // Письма в ЖТФ. -1998. -Т.24, № 21. -С.35-39.

51. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Миня А.И. Оптические характеристики поперечного разряда в неоне при атмосферном давлении // Журнал прикладной спектроскопии.-1999. -Т.66, № 1. -С.5-10.

52. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Миня А.И. Образование возбужденных атомов неона в поперечном разряде с допробойным ионизационным размножением электронов // Физика плазмы. -1999. -Т.25, № 2. -С.201-204.

53. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Миня А.И. Поперечный разряд с допробойным иони-зационным размножением электронов в рабочих средах N₂ и НF лазеров // Журнал прикладной спектроскопии. -1999. -Т.66, № 3. -С.412-415.

54. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Неймет Ю.Ю., Шевера И.В. Образование молекул АrСl(В) в поперечном объемном разряде // Письма в ЖТФ. -1999. -Т.25, вып.11.

-С.29-33.

55. Шуаібов О.К., Шимон Л.Л., Шевера І.В., Дащенко А.Й. Дослідження трансформації активного середовища електророзрядного ексимерного джерела випромінювання на сумішах Не(Аr)/Хе/CCl₄ // Український фізичний журнал. -1999. -Т.44, № 5. -C.558-563.

56. Шуаібов О.К., Шимон Л.Л., Миня О.Й., Дащенко А.И. Нерівноважне випромінювання атомів неону в стаціонарній Не/Nе/Н₂ плазмі високого тиску // Український фізичний журнал. -1999. -Т.44, № 10 -С.1223-1226.

57. Шуаібов О.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.Й., Шевера І.В., Миня О.Й. Електричні та оптичні характеристики низькотемпературної плазми інертних газів в неоднорідному електричному полі // Журнал фізичних досліджень.-1999.-Т.3, № 1.-С.47-54.

58. Шуаібов О.К., Шимон Л.Л., Шевера І.В., Миня О.Й. Розробка та дослідження характеристик багатохвильової ексимерної лампи // Журнал фізичних досліджень. -1999. -Т.3, № 2. -С.157-163.

59. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В., Дащенко А.Й. Исследование излучения продуктов распада молекул CF₂Сl₂ в импульсном объемном разряде // Физика плазмы. -1999. -Т.25, № 7. -С.640-645.

60. Шуаибов А.К., Миня А.И. Диссоциативное возбуждение атома кремния в поперечном электрическом разряде // Квантовая электроника. -1999. -Т.26, № 2. -С.183-184.

61. .Шуаибов А.К., Дащенко А.И. Условия одновременного образования хлоридов Аr, Кr и Хе в многоволновом излучателе с накачкой поперечным разрядом. // Квантовая электроника.

-2000. -Т.30, № 3. -С.279-281.

62. .Шуаибов А.К., .Дащенко А.И.. Электроразрядный эксимерный излучатель на системе полос Сl₂(258 нм)/АrСl(175 нм) // Приборы и техника эксперимента. -2000. -№ 3. -С.101-103.

63. .Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Семенюк.Я.Н. Многоволновый электроразрядный излучатель для области 175-258 нм // Журнал прикладной спектроскопии. -2000. -Т.67, № 3. -С.407-408.

64. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Шевера И.В. Характеристики поперечного объемного разряда в СF₂Сl₂ и смеси Аr/СF₂Сl₂ // Теплофизика высоких температур. -2000.

-Т.38, № 3. -С.386-389.

65. Шуаiбов О.К., Шимон Л.Л., Миня О.Й. Коронний розряд у робочих середовищах лазерiв на фторидах iнертних газiв та молекулах й атомах фтору // Журнал фiзичних дослiджень. -2000. -Т.4, № 3. -С.291-297.

66. Шуаибов А.К., ШимонЛ.Л., ДащенкоА.И., Шевера И.В. Образование радикалов С₂^* в поперечном объемном разряде // Физика плазмы. -2000. -Т.26, № 12. -С.1149-1151.

67. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Неймет Ю.Ю. Возбуждение атомов железа в плазме эксимерных излучателей с накачкой поперечным разрядом // Журнал технической физики. -2000. -Т.70, вып.6. -С.132-133.

68. Shevera I.V., Shuaibov A.K., Shimon L.L., Dashchenco A.I., Minja A.I. Investigation of the work conditions and characteristics of multiwave emitters on clorides and fluorides of rare gases // Uzhhorod University Scientific Herald. Ser. Phys. Issue 8. Part.2. -2000. -P 297-301.

69. Шуаибов А.К., Дащенко АИ., Шевера И.В. Многоволновый эксимерный излучатель низкого давления // Журнал прикладной спектроскопии. -2001. -Т.68, №. 2. -С.275-277.

70. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. УФ-ВУФ Эксимерный излучатель с накачкой поднормальным тлеющим разрядом // Квантовая электроника. -2001. -Т.31, № 4. -С.371-372.

71. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Шевера И.В. Многоволновый электроразрядный излучатель на системе полос l = 308 nm XeCl/258 nm Cl₂(D’-A’)/236 nm XeCl(D-X)/222 nm KrCl(B-X)/175 nm ArCl(B-X)/160 nm H₂(B-X) // Журнал технической физики. -2001. -Т.71,

№ 2. -С.77-81.

72. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Шевера И.В. Образование возбужденных молекул азота в эксимерной лампе с накачкой тлеющим разрядом постоянного тока // Письма в ЖТФ. -2001. -Т.27, вып.9. -С.8-12.

73. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Образование эксимерных молекул и возбуждение азота в стационарной электроразрядной плазме низкой плотности // Физика плазмы. -2001.

-Т.27, № 6. -С.573-576.

74. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Стационарный излучатель в диапазоне 130-

190 нм на основе плазмы паров воды // Квантовая электроника. -2001. -Т.31, № 6. -С.547-548.

75. Шуаибов А.К., Дащенко А.И, Шевера И.В. Стационарный электроразрядный излучатель низкого давления на смеси Не/Cl₂ // Теплофизика высоких температур. -2001. -Т.39, № 4.

-С.833-835.

76. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Источник УФ излучения на основе плазмы тлеющего разряда в смеси гелия с парами воды // Журнал прикладной спектроскопии. -2001.

-Т.68, № 4. -С.544-546.

77. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Шевера И.В. Оптические характеристики плазмы тлеющего разряда в смеси Не/H₂O // Физика плазмы. -2001. -Т.27, № 10. -С.951-954.

78. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Шевера И.В. Электроразрядный ВУФ - излучатель на парах воды // Письма в ЖТФ. -2001. -Т.27, вып.15. -С.46-50.

79. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Поднормальный тлеющий разряд на смеси Xe/Cl₂ в узкой разрядной трубке // Журнал технической физики. -2001. -Т.71, вып.8. -С.121-123.

80. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Исследование излучение плазмы тлеющего разряда постоянного тока на смеси Не/H₂O // Журнал технической физики. -2001. -Т.71, № 11. -С.139-142.

81. Шуаибов А.К., Дащенко А.Й., Шевера И.В. О влиянии паров воды на характеристики импульсно-периодического УФ-излучателя // Письма в ЖТФ. -2001. -Т.27, вып.23. -С.90-94.

82. Шуаибов А.К., Миня А.И., Дащенко А.И.Образование эксимерных молекул и возбужденных атомов в положительном коронном разряде на смесях He/Xe/SF₆/CCl₄ и He/Kr/SF₆/CCl₄ // Журнал технической физики. -2001. -Т.71, № 12. -С.95-97.

83. Шуаібов О.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.Й., Шевера І.В. Електророзрядне джерело випромінювання низького тиску на хлоридах Ar, Kr, Xe і молекулах Cl^*₂ // Журнал фізичних досліджень. -2001. -Т.5, № 2. -С.131-138.

84. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., ДащенкоА.И., Шевера И.В. Эксимерный излучатель низкого давления для спектральной области 170-310 нм // Приборы и техника эксперимента. -2002.

-№ 1. -С. 104-106.

85. Шуаибов А.К., Дащенко А.Й., Шевера И.В. Широкополосный излучатель низкого давления на хлоридах аргона, криптона и ксенона // Квантовая электроника. -2002. -Т.32, № 3. -С 279-280.

86. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Характеристики вольерного разряда на смеси гелий/хлор // Письма в ЖТФ. -2002. -Т.28, вып. 6. -С.23-28.

87. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Оптические характеристики стационарной плазмы продольного разряда на смеси гелий/фреон-12 // Журнал технической физики. -2002.

-Т.72, вып. 4. -С.32-35.

88. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Образование возбужденных атомов хлора в поперечном объемном разряде низкого давления // Письма в ЖТФ. -2002. -Т.28, вып.8.

-С.48-53.

89. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Многоволновый источник излучения низкого давления на хлоридах аргона и ксенона // Оптика и спектроскопия. -2002. -Т.92, № 5.

-С.753-755.

90. Шуаібов О.К., Дащенко А.Й., Шевера І.В. Джерело УФ-ВУФ випромінювання на основі молекул хлору і хлориду криптону з накачуванням у плазмі негативного катодного свічення // Український фізичний журнал. -2002. -Т.47, № 4. -С.346-349.

91. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Миня А.И. Излучение плазмы поперечного объемного разряда в неоне с малыми примесями паров воды и воздуха // Физика плазмы. -2002. -Т.28, № 8.

-С.765-768.

92. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В., Дащенко А.И. Стационарный источник УФ-ВУФ - излучения с накачкой продольным разрядом // Прикладная физика. -2002. -№ 2. -С.51-56.

93. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Условия совместного образования хлоридов криптона и ксенона в тлеющем разряде низкого давления // Теплофизика высоких температур. -2002. -Т.40, № 2. -С. 337-339.

94. Shuaibov A., Shimon L., Dashchenko A., Shevera I. Electrodischarge VUV - Radiator of low pressure on a mixtures He(Ar, Kr,Xe)/H₂O // Proc. of SPIE. -2002. -V.4747. -P.409-416.

95. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В., Дащенко А.И. Электрические и оптические характеристики поперечного объемного разряда в хлоре // Теплофизика высоких температур. -2002. -Т.40, № 5. -С. 693-697.

96. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шимон Л.Л., Шевера И.В. Импульсно-периодический объемный разряд низкого давления на смеси криптона с хлором // Письма в ЖТФ. -2002.

-Т.28, вып. 16. -С.85-89.

97. Шуаібов О.К., Шимон Л.Л., Шевера І.В., Дащенко А.Й. Широкосмугове електророзрядне джерело випромінювання низького тиску на суміші інертних газів з молекулами хлору // Український фізичний журнал. -2002. -Т.47, № 1. -С. 28-31.

98. Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. Электроразрядный источник ультрафиолетового излучения на молекулах хлора // Журнал прикладной спектроскопии. 2002. Т.69, № 5. С.686-689.

99. Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Шевера И.В., Дащенко А.И. Тлеющий разряд низкого давления на смеси «ксенон/хлор» // Физика плазмы. -2002. -Т.28. № 12. -С.1147-1152.

Анотації