Максимова Татьяна Ивановна. Модификация структурных характеристик поверхности (001) кремния в микроэлектронной технологии: Дис... канд. физ.-мат. наук: 01.04.01 / Одесский гос. политехнический ун-т. - О., 2000. - 149 л. - Бібліогр.: л. 126-141.