Макогон Юрий Николаевич. Формирование фазового состава, структуры и свойств тонких пленок силицидов переходных металлов на кремнии : Дис...д-ра техн.наук: 01.04.07 / КПИ. — К., 1993. — 355л. — Бібліогр.: л.:330-355.