Анотація до роботи:

Кляхіна Н.А. «Формування структури і фізичних властивостей нітридних плівок, отриманих методами реактивного розпилювання на підкладках Si, Ni, Ti, Ta, Mo і W» – Рукопис.

Дисертація на здобуття ученого ступеня кандидата фізико-математичних наук за фахом 01.04.07 – фізика твердого тіла. – Донецький національний університет, Донецьк, 2003 р.

У дійсній роботі проведене вивчення впливу різних методів реактивного розпилення на фазовий склад, кінетику росту і властивості тонкоплівкових нітридних покрить.

Експериментально доведено, що плівки, отримані різними методами реактивного розпилювання на різних підкладках є багатофазними і багатошаровими, причому розходження в структурі і властивостях нітридних плівок обумовлене різною енергією іонів азоту і титану і різною щільністю їхнього потоку, кінетикою і температурою наростання плівок. Установлено, що при використанні методу ІІ формуються плівки, що мають добрі механічні, електричні, адгезионні й електрохімічні властивості. Плівки, отримані методом КІБ, мають найбільш високу дисперсність, твердість, корозійну стійкість і зчеплення з підкладкою. Максимальний питомий опір мають плівки, отримані методом ІІ на підкладках тугоплавких металів. Виявлено, що в методі ІІ матеріал підкладки впливає на фазовий склад і структуру нарощуваних плівок, у випадку методу КІБ, цей вплив незначний. Вперше теоретично й експериментально знайдені гетероепітаксійні температури для пар Si/Ti і Si/Al. Установлено, що кінетика наростання плівок у всіх випадках описується лінійним законом з різною константою росту. Рекомендовано використовувати плівки при виготовленні багатошарових БІС.

Публікації автора:

Статті

1. Ignatenko P.I., Therpy D.N., Goncharov A.A., Muza M.A., Vasilenko N.A. Disperse of іnсrеаsіng films chemical compounds// Фізика і хімія твердого тіла.- 2001.- т. 2, №2, с. 217 - 222.

2. Ignatenko P.I.,Goncharov A.A., Terpiy D.N., Vasilenko N.A. Еріtахіаl growth of films of chemical compounds// Found International Conference “Single crystal growth and heat & mass transfer”. ICSC, Obninsk-2001.- v. 4. – p. 459 – 462.

3. Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю.Структура и свойства нитридных пленок, полученных реактивным распылением мишеней алюминия и титана // Металлофизика и новейшие технологии. -2003. -Т.25, №1 -с.89-97.

4. Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. Фазовый состав, кинетика нарастания и свойства нитридных покрытий молибдена, вольфрама и тантала, полученных методом реактивного распыления// Материаловедение. – 2003, №4 (73). – с. 36 – 42.

5. Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. Структура, кинетика роста и свойства пленок, полученных на (111) Si, (100) NaCl методом ионной имплантации// ФиХОМ.- 2003, №2. – с. 66 - 69

6. Ігнатенко П.І., Кляхіна Н.А., Гончаров О.О., Бадекін М.Ю. Структура, кінетика росту і властивості нітридних плівок нікелю і натрія, отриманих реактивним розпиленням// Фізика і хімія твердого тіла.- 2002.- т. 4, №4, с. 146 – 149.

Патенти

1. Ігнатенко П.І., Кляхіна Н.П., Бадекін М.Ю. Спосіб одержання нитридної плівки. Патент №61646А по заяві № 2003032458, від 17.11.2003 р.

2. Ігнатенко П.І., Кляхіна Н.П., Бадекін М.Ю. Спосіб одержання двошарової нитридної плівки. Патент №68968А по заяві № 20031110552, від 4.06.2004 р.

Матеріали і тези конференцій

1. Игнатенко П.И., Василенко Н.А., Терпий Д.Н. О дисперсности пленочных продуктов твердофазных реакций // VIII Мiжнародна конференцiя з фiзики i технологiї тонких плiвок ISPTTF - VIII. Матер. конф. Iвано-Франкiвськ, -2001. –С.172 – 173

2. Игнатенко П.И., Петухов В.В., Гончаров А.А., Василенко Н.А., Терпий Д.Н. Факторы, влияющие на фазовый состав и структуру напыляемых пленок // VIII Мiжнародна конференцiя з фiзики i технологiї тонких плiвок ISPTTF - VIII. Матер. конф. Iвано-Франкiвськ, -2001. -С.28- 29

3. Василенко Н.А. Дисперсность наращиваемых пленок химических соединений// Научно-техническая конференция «Технология 2001», г. Северодонецк,.- 2001. – с. 89 – 92.

4. Игнатенко П.И., Кляхина Н.А. Фазовый состав пленок, полученных реактивным распылением мишени Ti в среде Ar – N на разные подложки//XIX Российская конференция по электронной микроскопии ЭМ2002.- Черноголовка. – 2002. – с.34.

5. Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. Получение многослойных нитридных пленок методами реактивного распыления// IX Межд. Конф. ФТТП, Ивано-Франковск. – 2003. – с. 45.

6. Игнатенко П.И., Бадекин М.Ю., Кляхина Н.А. Разновидность структуры и состава нитридных пленок, полученных на (100) NaCl методом ионной имплантации// XIII Российский симпозиум по РЭМ. – Москва.- 2003.- с. 133.

7. Игнатенко П.И., Кляхина Н.А., Бадекин М.Ю. Повышение адгезионной прочности нитридных пленок, полученных методом корпускулярного легирования// III Республиканская конференция по физической электронике, Ташкент.- 2002.

8. Кляхина Н.А., Охрименко О.Д. О влиянии подложки на структуру и физико-химические свойства нитридных пленок// Научно-техническая конференция «Технология 2004», г. Северодонецк,.- 2004. – с. 18 – 19.