Анотація до роботи:

Кочелаб Є.В. Фізичне моделювання еволюції системи мікродефектів у перенасиченому твердому розчині – Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.07 – фізика твердого тіла. Інститут металофізики ім.. Г.В.Курдюмова НАН України, м. Київ, 2007 р.

Побудовано фізичну модель зародження, росту і розчинення складної системи нано- і мікророзмірних дефектів у перенасиченому твердому розчині кисню в кремнії. Еволюцію функцій розподілу дефектів за розмірами у цій системі, яка складається з об’ємних частинок нової фази (преципітатів кисню) і пор, а також плоских агломератів міжвузельних атомів кремнію (дислокаційних петель), описано системою дискретних і континуальних диференційних кінетичних рівнянь. Закони збереження точкових дефектів описано системою рівнянь дифузії для міжвузельних атомів кисню, кремнію і вакансій з врахуванням граничних умов на поверхні кристала.

На основі розробленої моделі проведено комп`ютерне моделювання процесів утворення і розвитку системи взаємодіючих об’ємних і плоских дефектів при різних умовах теплових обробок пластин кремнію. Встановлено особливості кінетики росту преципітатів кисню і дефектів упаковки при різних режимах остигання вирощуваного кристала. Визначено вплив головних технологічних та фізичних параметрів на кінетику процесів кластеризації при остиганні та відпалах кристала кремнію.